การวิเคราะห์องค์ประกอบของ EDS
การนําเสนอโครงการ
การวัดสเปคตรเมตรระบายพลังงาน (EDS) เป็นเทคนิคการวิเคราะห์ที่ใช้ในการวิเคราะห์ตัวอย่างและการระบุลักษณะปกติจะใช้พร้อมกับกล้องจุลินทรีย์อิเล็กตรอนสแกนและกล้องจุลินทรีย์อิเล็กตรอนส่ง เพื่อวิเคราะห์ประเภทและสาระของธาตุในเขตเล็กของวัสดุ: รังสีเอ็กซ์ที่เป็นลักษณะที่เกิดเมื่อรังสีอิเล็กตรอนปฏิสัมพันธ์กับวัสดุและธาตุส่วนใหญ่ (Be4-PU94) สามารถตรวจสอบได้เป็นคุณภาพและครึ่งปริมาณ, และปนเปื้อนผิวสามารถวิเคราะห์

ห้องปฏิบัติการวิเคราะห์องค์ประกอบ

หลักการการทดลอง
ในกล้องจุลินทรีย์อิเล็กตรอนสแกนและกล้องจุลินทรีย์อิเล็กตรอนการส่งที่ทันสมัย เครื่องจุลินทรีย์ระบายพลังงาน (EDS) เป็นอุปกรณ์เสริมที่สําคัญมันมีระบบออปติกที่เหมือนกันกับเครื่องจักรหลัก, และสามารถทําการวิเคราะห์จุด, การวิเคราะห์พื้นผิว, และการวิเคราะห์เส้นทางเกี่ยวกับองค์ประกอบเคมีของส่วนที่สนใจในวัสดุ.

ข้อดีของ EDS
(1) ความเร็วในการวิเคราะห์ที่รวดเร็วและมีประสิทธิภาพสูงสามารถทําการวิเคราะห์คุณภาพและปริมาณอย่างรวดเร็วในขณะเดียวกันของธาตุทั้งหมดที่มีจํานวนอะตอมระหว่าง 11 และ 92 (แม้กระทั่งธาตุ ultralight เช่น C, N และ O)
(2) ความมั่นคงที่ดีและการซ้ําได้ดี
(3) สามารถใช้ในการวิเคราะห์องค์ประกอบของพื้นผิวที่หยาบ (หัก, ฯลฯ)
(4) สามารถวัดการแยกส่วนประกอบในวัสดุ เป็นต้น

หลักการทํางานของ EDS
The probe receives characteristic X-ray signals → converts characteristic X-ray light signals into electrical pulse signals with different heights → amplifier amplifies the signals → multi-channel pulse analyzer encodes pulse signals representing X-rays of different energies (wavelengths) into different channels according to their heights → displays spectrum lines on the fluorescent screen → uses computers for qualitative and quantitative calculations.

โครงสร้างของ EDS
1เครื่องตรวจจับ: เปลี่ยนสัญญาณโฟตอน X-ray เป็นสัญญาณกระแทกไฟฟ้า และความสูงของกระแทกจะสัดส่วนกับพลังงานของโฟตอน X-ray

2เครื่องขยายเสียง: ขยายเสียงสัญญาณไฟฟ้า

3. เครื่องวิเคราะห์ความสูงกระแทกหลายช่อง: กระแทกถูกโปรแกรมเป็นช่องทางที่แตกต่างกันตามความสูงของพวกเขา, นั่นคือแสงเอ็กซ์ที่มีลักษณะที่แตกต่างกันถูกแยกออกตามพลังงานของพวกเขา.

4- ระบบประมวลผลและแสดงสัญญาณ: การระบุสเปคตร การคํานวณเชิงคุณภาพและปริมาณ การบันทึกผลการวิเคราะห์

การวิเคราะห์ EDS
1การวิเคราะห์คุณภาพ: สูงสุดในสเปคเตอร์ EDS แสดงถึงองค์ประกอบที่อยู่ในตัวอย่าง การวิเคราะห์คุณภาพเป็นขั้นตอนแรกในการวิเคราะห์ตัวอย่างที่ไม่รู้จักการระบุองค์ประกอบที่อยู่ในหากประเภทของธาตุไม่สามารถระบุได้อย่างถูกต้อง ความแม่นยําของการวิเคราะห์ปริมาณสุดท้ายจึงไร้ความหมาย โดยปกติแล้วองค์ประกอบหลักของตัวอย่างสามารถระบุได้อย่างน่าเชื่อถือแต่สําหรับการกําหนดธาตุเล็กน้อยหรือธาตุร่อง, เพียงด้วยการจัดการอย่างรอบคอบกับการขัดขวางเส้นสเปคตรัล, การบิดเบือนและระบบเส้นสเปคตรัลของแต่ละองค์ประกอบสามารถเป็นแม่นยําการวิเคราะห์คุณภาพแบ่งออกเป็น การวิเคราะห์คุณภาพอัตโนมัติ และการวิเคราะห์คุณภาพมือการวิเคราะห์คุณภาพอัตโนมัติกําหนดตําแหน่งสูงสุดตามตําแหน่งพลังงานเพียงคลิกปุ่ม "การดําเนินงาน/การวิเคราะห์คุณภาพ" เพื่อแสดงสัญลักษณ์องค์ประกอบที่ตรงกันในแต่ละตําแหน่งสูงสุดของสายสีการวิเคราะห์คุณภาพอัตโนมัติมีความเร็วในการจําแนกที่รวดเร็ว แต่เนื่องจากการขัดขวางที่ร้ายแรงของการทับซ้อนจุดสูงของสายสี

2การวิเคราะห์ปริมาณ: การวิเคราะห์ปริมาณคือการหาปริมาณของธาตุต่าง ๆ ที่ประกอบด้วยวัสดุตัวอย่างผ่านความเข้มข้นของรังสีเอ็กซ์ผู้คนได้ค้นหาและเสนอวิธีการในการวัดอัตราสัมพันธ์ความเข้มข้นของตัวอย่างที่ไม่รู้จักและตัวอย่างมาตรฐาน, แล้วแปลงสัดส่วนความเข้มแข็งเป็นสัดส่วนความเข้มแข็งหลังจากการแก้ไขปริมาณ เทคโนโลยีการแก้ไขปริมาณที่ใช้กันมากที่สุดคือการแก้ไข ZAF

3การวิเคราะห์การกระจายพื้นผิวของธาตุ: ในกรณีส่วนใหญ่รังสีอิเล็กตรอนถูกยิงเพียงจุดหนึ่งของตัวอย่างเพื่อได้รับสเปคเตอร์ X-ray และสารประกอบของจุดนี้ซึ่งเรียกว่าวิธีการวิเคราะห์จุดใน SEM ใหม่ที่ทันสมัย, สถานการณ์การกระจายส่วนประกอบที่แตกต่างกันส่วนใหญ่ของพื้นที่หนึ่งของตัวอย่างสามารถได้รับ:วงศ์อิเล็กตรอนถูกสแกน 2 มิติบนตัวอย่าง, และความเข้มข้นของรังสี X ที่มีลักษณะของมันถูกวัดเพื่อให้การเปลี่ยนแปลงความสว่างที่ตรงกับความเข้มงวดนี้ถูกปรับปรุงพร้อมกับสัญญาณการสแกนและแสดงบนท่อรังสี cathode CRT, และภาพการกระจาย 2 มิติของความเข้มข้น X-ray ลักษณะได้รับวิธีการวิเคราะห์นี้เรียกว่าวิธีการวิเคราะห์การกระจายพื้นผิวธาตุ,ซึ่งเป็นวิธีที่สะดวกมากสําหรับการวัดการกระจายตัวสองมิติของธาตุ.